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超高分辨冷场发射扫描电镜

照片
仪器中文名超高分辨冷场发射扫描电镜
仪器英文名Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscopy
型号Regulus 8100
制造商日本日立集团
产地日本
购买年份2019-10-11
仪器负责人鞠鹏
可对外开放时间
安放地点山东省青岛市崂山区仙霞岭路6号
所在实验室 显微镜
仪器编号
主要规格 Regulus 8100
技术指标 1、二次电子分辨率:≥1.0nm (加速电压15kV)、≥2.0nm (加速电压1kV)、≥1.3nm (照射电压1kV,使用减速装置)。 2、加速电压:0.1-30 kV,放大倍数:20-80万倍(底片模式)、60-200万倍(显示器模式)。 3、电子枪:冷场发射电子枪;电子束流:≥1 pA,且连续可变。 4、对中:自动;聚焦:自动聚焦、带有手动聚焦;像散:自动,带有手动控制调节。 5、物镜光栏:内外加热自清洁式,四孔,可移动物镜光栏。 6、样品台:5轴自动马达驱动,样品最大尺寸:≤100 mm。 7、数字图像记录系统:TV扫描(640*480 pixel显示,25/30祯/s),快速扫描(全屏显示,6.25/7.5祯/s),慢速扫描(全屏显示,1/4/20/40/80 s/祯)(640*480 显示, 0.5/2/10/20/40 s/祯),图像显示不低于1280×960像素,图像类型TIFF、BMP或JPEG。 8、真空系统:自动真空抽气及诊断,具有断电、缺水、失真空保护系统,配有液氮冷阱防污染装置,样品更换时间≤1分钟。
功能 主要用于材料、微塑料、生物样品的微观表面观察与成份分析。还可以对一些容易受电子束损伤的样品和导电性非常差的样品可以在低加速电压和进行直接观察。
应用范围 生物学,化学,材料学,海洋科学
主要附件
收费标准 喷金:100元/次;光盘:10元/张;SEM观察:150元/样品、500元/机时;EDS能谱:150元/样品;EDS面扫Mapping:150元/样品
检测说明 1、该仪器由专人负责管理操作,如需使用请提前预约,使用时应严格按要求登记,未经允许不得擅自操作;使用过程中应严格按照操作规程来对仪器进行操作,出现任何异常问题请与工程师沟通,并及时告知联系人,严禁擅自处理、拆卸仪器。 2、在放样品台或换样品台之前,用比高器测量高度,防止样品台过高而触碰到探测器。 3、测试时需告知测试人员样品性质以及测试条件等参数,数据一律用光盘拷贝,未经允许严禁擅自使用U盘或移动硬盘等拷贝数据。 4、实验室有洁净要求,测试人员进入实验室需换衣服换鞋,应穿实验服、鞋套,避免造成实验室污染。
备注